サムコ株式会社
※2015〜2019年度
| 件数 | 9 |
|---|---|
| 総支出額（百万円） | 226 |
| 府省庁 | 事業名 | 年度 | 業務概要 | 支出額（百万円） |
|---|---|---|---|---|
| 経済産業省 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所運営費交付金 | 2018 | メタルCVD装置 | 80 |
| 経済産業省 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所運営費交付金 | 2018 | GaNエッチング装置 | 62 |
| 復興庁 | 福島再生可能エネルギー研究開発拠点機能強化事業 | 2015 | 3件 | 39 |
| 復興庁 | 福島再生可能エネルギー研究開発拠点機能強化事業 | 2015 | 微細加工装置 | 30 |
| 復興庁 | 福島再生可能エネルギー研究開発拠点機能強化事業 | 2015 | 表面処理装置 | 8 |
| 総務省 | 国立研究開発法人情報通信研究機構運営費交付金 | 2015 | TEOS-CVD装置の修理 | 3 |
| 経済産業省 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所運営費交付金 | 2018 | RIE-102CS用φ４インチ石英カバー（裏面Ni付き） | 2 |
| 総務省 | 国立研究開発法人情報通信研究機構運営費交付金 | 2018 | ディープエッチング装置 高周波電源修理 | 1 |
| 経済産業省 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所運営費交付金 | 2018 | 石英カバー | 1 |
