東京エレクトロン株式会社
※2015〜2019年度
| 件数 | 4 |
|---|---|
| 総支出額（百万円） | 64 |
| 府省庁 | 事業名 | 年度 | 業務概要 | 支出額（百万円） |
|---|---|---|---|---|
| 経済産業省 | エネルギー・環境分野の中長期的課題解決に資する新技術先導研究プログラム | 2018 | 超微細半導体用革新的ウェットプロセス・装置技術の開発 | 44 |
| 経済産業省 | 電気機器性能の向上に向けた次世代パワーエレクトロニクス技術開発事業 | 2016 | 高品質かつ低コストを実現するスパッタ法を用いた窒化ガリウムエピ成長技術開発の検討 | 11 |
| 経済産業省 | 次世代型超低消費電力デバイス開発プロジェクト | 2015 | 低炭素社会を実現する超低電圧デバイスプロジェクト | 8 |
| 経済産業省 | 電気機器性能の向上に向けた次世代パワーエレクトロニクス技術開発事業 | 2017 | 世界のパワエレを牽引する次世代パワーモジュール研究開発と日本型エコシステムの構築 | 1 |
